近日，上海光源軟X射線干涉光刻線站（BL08U1B）用戶研發(fā)成果“極紫外光刻膠”入選中國(guó)科協(xié)2020年“科創(chuàng)中國(guó)”先導(dǎo)技術(shù)榜單，成為先進(jìn)材料領(lǐng)域10項(xiàng)先導(dǎo)技術(shù)之一。研發(fā)團(tuán)隊(duì)開發(fā)出具有國(guó)際先進(jìn)水平和完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的極紫外光刻膠，實(shí)現(xiàn)了從材料設(shè)計(jì)到中試生產(chǎn)的全流程，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)技術(shù)空白。標(biāo)志著我國(guó)在高端光刻膠領(lǐng)域已躋身世界先進(jìn)行列，為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)安全、國(guó)家經(jīng)濟(jì)安全和信息安全提供有力保障。 

極紫外光刻膠研發(fā)團(tuán)隊(duì)由中國(guó)科學(xué)院化學(xué)研究所和中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所共同建立，是國(guó)內(nèi)最早從事極紫外光刻膠研發(fā)的專業(yè)團(tuán)隊(duì)。自從2013年起，一直利用上海光源軟X射線干涉光刻線站進(jìn)行極紫外光刻膠性能檢測(cè)評(píng)估的工作。極紫外光刻膠檢測(cè)是極紫外光刻膠研發(fā)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為更好的檢測(cè)光刻膠的性能，用戶團(tuán)隊(duì)與上海光源團(tuán)隊(duì)通力合作，在原有干涉光刻實(shí)驗(yàn)站的基礎(chǔ)上完成了光刻膠曝光檢測(cè)裝置和產(chǎn)氣測(cè)試裝置的共同研制，建立起極紫外光刻膠敏感度、分辨率、邊緣粗糙度及曝光產(chǎn)氣等重要指標(biāo)檢測(cè)的完整極紫外光刻膠評(píng)估檢測(cè)平臺(tái)，在該項(xiàng)成果的研發(fā)過程中發(fā)揮了重要作用。上海光源在我國(guó)今后的極紫外光刻膠研發(fā)中繼續(xù)發(fā)揮作用。