上海光源關(guān)鍵技術(shù)研制再傳捷報(bào)。繼2022年10月800mm高精度平面反射鏡自主研制取得重大突破后，上海光源光學(xué)組再接再厲，于2023年4月成功研制出1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡。其各項(xiàng)參數(shù)已達(dá)到國際先進(jìn)水平，并將進(jìn)入實(shí)用化階段。

2023年4月19日至20日，由來自中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京高能物理所、同濟(jì)大學(xué)、上海光機(jī)所的4位專家組成的工藝測試專家組在上海光源對(duì)1000mm大尺寸高精度X射線平面反射鏡進(jìn)行了現(xiàn)場測試。測試結(jié)果表明：反射鏡全長1000mm，光學(xué)有效長度950mm，表面斜率誤差0.202μrad(RMS)，表面粗糙度0.276nm(RMS)，主要技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。此前同步輻射光源使用的大尺寸高精度反射鏡均依賴進(jìn)口，該反射鏡的成功研制標(biāo)志著上海光源突破技術(shù)瓶頸，具備了同步輻射大尺寸高精度X射線平面反射鏡的自主制造能力，為我國同步輻射光源光束線大尺寸高精度平面反射鏡工程化應(yīng)用提供了堅(jiān)實(shí)的技術(shù)保障。 

工藝測試專家組聽取項(xiàng)目組研制報(bào)告并審議測試大綱 

大尺寸高精度平面反射鏡檢測中 

大尺寸平面反射鏡斜率誤差檢測結(jié)果

大尺寸平面反射鏡表面粗糙度檢測結(jié)果